粗檢漏的主要設(shè)備是抽真空加壓臺、氟油檢漏儀和酒精負壓檢漏儀，超聲波檢漏儀下面介紹三種比較典型的產(chǎn)品。（1）抽真空加壓臺 用于氟油檢漏前的低沸點氟油加壓，也用于氦質(zhì)譜背壓簡陋前對器件作氦氣加壓及某些元件的氦氣加壓，可滿足國軍標中規(guī)定的抽空加壓條件。（2）氟油檢漏儀 氟油檢漏儀適用于密封要求的半導(dǎo)體分離器件、微電子器件和電子及電氣元件的氟油粗檢漏。該設(shè)備是根據(jù)國軍標GJB 128A、GJB 360A GJB548A 對氟油檢漏的要求設(shè)計的。油箱內(nèi)裝有重氟油，溫度可以恒定子啊125℃±5℃。油箱內(nèi)部處理成陰暗無反射的黑色背景，左右兩個照明呈直射平行光，因此，能非常清楚的觀察到微小氣泡。子啊設(shè)備頂部還安裝了排風(fēng)罩，蒸發(fā)的氟油蒸汽能有效地排除室外。超聲波檢漏儀（3）酒精負壓檢漏儀 酒精負壓檢漏儀按航天標準QJ789A--1995設(shè)計制造，用于密封電磁繼電器的抽真空氣泡粗檢漏。繼電器在簡陋前放入抽空加壓臺的壓力罐中用氮氣加壓，加壓完畢后，放入酒精槽中初檢剔除有大漏的冒泡者，超聲波檢漏儀在對酒精槽抽真空，繼續(xù)觀察，剔除在真空條件下冒泡的不合格品，它由中罩、機械真空泵、壓力調(diào)節(jié)器、真空控制元件組成，操作簡單，易于觀察。所需電源220V、400W。

氪-85同位素檢漏中也要使用抽空加壓裝置。由于存在放射性污染問題。它的抽空加壓裝置需專門設(shè)計。上面介紹的加壓裝置不可隨意代用，以免出現(xiàn)質(zhì)量和**問題。

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